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VACUBRAND真空泵

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ETCH主要产品涉及金属加工件chamber Linear/heater/slit door

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所属分类： 维修

数量： 1000

点击： 511
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产品说明



ETCH主要产品涉及金属加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻 新

延长了使用寿命




加热元件的发热越有效，需要对它们进行的加热就越少。Plansee 研发了一种能够最大化热输出的专利涂层工艺。



钨基层具有高孔隙率的

  • 钼（熔点：2620°C）和钨（熔点：3420°C）均是难熔金属，高熔点使它们非常适合用于诸如 MOCVD 和 MBE 之类的高温工艺。
  • 耐腐蚀：
    钼和钨在各种环境中都具有耐腐蚀性，甚至在极高温度下也是如此：
钼 钨
氨气
  • 在操作过程中，反应室部件中的杂质也可能污染半导体。要保证半导体的质量和 LED 或晶体管的效率，我们的材料必须无杂质。我们保证材料纯度高于 99.97%。

  • 蒸气压低：


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